半導体素子、半導体素子の製造方法、半導体装置、半導体装置の製造方法
1999
(57)【要約】
【課題】 ワイヤーボンディング用のボンディングパッ ド51を第1の面50bに有する。そして、第1の面に 交わる側面の少なくとも一部50c、50dが第1の面 に対向する第2の面50eに向かうほど半導体素子側に 入り込む様な斜面となっている。この様な半導体素子5 0の斜面側の端部での、ボンディング時のクラック発生 等を防止する。
【解決手段】 第1の面の第2の面に正対する領域P内 に、ボンディングパッドを設ける。
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