Porteur à capacité réduite, port de transport et de charge, système tampon

La presente invention concerne un systeme de traitement de pieces a usiner semi-conductrices comportant au moins un dispositif de traitement pour traiter les pieces a usiner, un systeme de transport primaire, un systeme de transport secondaire et au moins une interface entre le premier systeme de transport et le second systeme de transport. Les systemes de transport primaire et secondaire comportent chacun au moins une section a velocite sensiblement constante et des sections de queue communiquant avec les sections a velocite constante.