Coupleurs nanoconiques en silicium et dispositifs de correspondance de mode

2005 
Cette invention concerne un dispositif permettant d'obtenir un couplage optique entre un signal optique se propageant en espace libre et un guide d'ondes en silicium ultramince forme dans une couche de silicium superieure d'une structure de silicium sur isolant (SOI), lequel dispositif comprend une structure nanoconique en silicium formee dans la couche de silicium superieure (couche SOI) de la structure SOI et couplee au guide d'ondes de silicium ultramince. Une couche de couplage de guide d'ondes dielectrique, presentant un indice de refraction superieur a l'indice de la couche isolante dielectrique mais inferieur a l'indice de refraction du silicium, est disposee de maniere qu'elle recouvre une partie de la couche isolante dielectrique dans une zone ou une partie associee de la couche SOI a ete retiree. Une partie d'extremite de la couche de couplage du guide d'ondes dielectrique est disposee de facon qu'elle recouvre une partie d'extremite du nanocone en silicium afin qu'une zone de conversion de mode soit formee entre le signal optique se propageant en espace libre et le guide d'ondes en silicium ultramince. Un dispositif de coupage optique en espace libre (tel qu'un prisme ou un reseau) est dispose sur la couche de couplage de guide d'ondes dielectrique et utilise pour coupler un signal optique se propageant entre un espace libre et la couche de couplage de guide d'ondes dielectrique puis dans le guide d'ondes en silicium ultramince.
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