Dispositif de traitement par plasma

Dispositif de traitement par plasma hyperfrequence utilisant une antenne a fentes a ligne radiale. On forme une plaque (16) fendue a l'aide d'un materiau a coefficient d'expansion thermique proche de celui d'une plaque (18) a onde lente, ou en deposant un metal sur une plaque dielectrique formant la plaque (18) a onde lente ; et on accroit l'adherence entre la plaque a onde lente et la plaque fendue, qui constitue une surface de rayonnement hyperfrequence de l'antenne, afin d'eviter une decharge anormale.