Dépôt par ablation laser pulsé

Cet article est une revue de la technique de depot en couche mince par ablation laser pulse ou  Pulsed Laser Deposition (PLD). Cette technique de depot physique par phase vapeur (PVD) consiste a focaliser un laser de haute puissance sur une cible contenant les especes chimiques du materiau a deposer. Dans le cas d’une epitaxie, la PLD est communement denommee Laser-MBE. Sont tout d’abord decrites les mecanismes mis en jeu dans la PLD, le dispositif experimental et les avantages et les inconvenients de la PLD. Ensuite, sont traites les parametres de depot ainsi que quelques techniques avancees relatives a la PLD. Enfin, quelques exemples d’applications de cette technique sont presentes.