Elektronenmikroskopische Untersuchung und Optimierung der strukturellen und nanochemischen Eigenschaften von Al/AlOx/Al-Schichtsystemen

Al/AlOx/All-Schichtsysteme sind in Bauelementen auf Basis von supraleitenden Josephson Kontakten von groser Bedeutung. Die elektronischen Eigenschaften solcher Bauelemente werden stark durch die strukturellen und nanochemischen Eigenschaften der Al/AlOx/Al-Schichtsysteme beeinflusst. Mit Hilfe von transmissionselektronenmikroskopischen Untersuchungen wurden in dieser Arbeit die Zusammenhange zwischen Herstellungsparametern der Schichtsysteme und ihren strukturellen und nanochemischen Eigenschaften auf atomarer Skala analysiert. Das daraus resultierende Verstandnis der Wachstumsprozesse wird genutzt, um Eigenschaften der Al/AlOx/Al-Schichtsysteme gezielt zu optimieren und die Voraussetzungen fur verbesserte supraleitende Eigenschaften zu schaffen.