Reservoir for a coating machine and coating machine
2012
Es wird ein Vorratsbehalter (1) fur ein Ausgangsmaterial (2) fur die Herstellung einer Schicht auf einem Substrat mittels eines Aufwachsprozesses in einer Beschichtungsanlage (10) angegeben, wobei der Vorratsbehalter (1) ein Innenvolumen fur das Ausgangsmaterial (2) aufweist, in dem ein gegenuber dem Ausgangsmaterial (2) inertes Temperaturausgleichsmaterial (3) vorhanden ist. Weiterhin wird eine Beschichtungsanlage (10) mit einem Vorratsbehalter 1 angegeben.
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