Alta eficiencia termoeléctrica en películas delgadas nanoestructuradas de SiGe, Cu₂Se y Ag₂Se depositadas por pulverización catódica

Los materiales termoel ectricos convierten energ a t ermica en energ a el ectrica y viceversa. Las ventajas de los materiales termoel ectricos son que no poseen partes m oviles, son dispositivos de larga duraci on, son silenciosos, pueden utilizarse en aplicaciones para enfriar y calentar, y tambi en pueden emplearse para la recuperaci on de energ a proveniente del calor residual. En los ultimos a~nos se han propuesto diferentes alternativas prometedoras destinadas a conseguir sistemas con coe cientes zT superiores a 1. Un coe ciente zT de 1 supone una e ciencia de generaci on de energ a el ectrica a partir de energ a t ermica de un 10% del l mite te orico, dado por el ciclo de Carnot, mientras que un valor de 4 supondr a un 30 %. Para este prop osito, esto es, estudiar c omo aumentar la e ciencia termoel ectrica en distintos materiales, en primer lugar se han obtenido pel culas delgadas de Si0;8Ge0;2 a trav es de un sistema de pulverizaci on cat odica de ultra alto vac o construido para este n. El primer objetivo ha sido lograr obtener pel culas delgadas de Si0;8Ge0;2 policristalinas con bajos valores de conductividad t ermica (cercanos a los reportados en la literatura para los nanohilo) y a bajas temperaturas de fabricaci on. Adicionalmente, un segundo objetivo ha consistido en la fabricaci on de nanomallas de Si0;8Ge0;2 con un control del tama~no de poro y del espesor de la nanoestructura. Este nuevo enfoque en la fabricaci on se realiza en un unico paso, sin necesidad de procesos litogr a cos o tratamientos t ermicos adicionales.