Multi-die device Thermal Resistance Test Method

一种多管芯器件热阻测试方法，包括：步骤S1.对N个管芯中的第i管芯通热电流，使多管芯器件发热至热平衡状态，再分别对所有管芯通测试电流，测得此时所有管芯各自的第i结壳热阻Ri1～RiN，以及相应的施加给多管芯器件的第i功率Qi；步骤S2.执行S1步骤N次，其中i取遍1～N所有整数；步骤S3.根据测得的所有结壳热阻R11～R1N，R21～R2N…RN1～RNN和所有的第i功率Q1～QN，确定因测定结壳热阻而引起的N次多管芯器件的温度变化ΔT1至ΔTN；步骤S4.根据所确定的所有的温度变化ΔT1至ΔTN和所有的功率Q1～QN，确定多管芯器件的结壳热阻RN。 本发明的多管芯器件结壳热阻测试方法实现了多管芯器件的结壳热阻的高精度的测量。