塗布動作評価装置、塗布動作評価方法、及び塗布動作評価プログラム
2013
【課題】塗布動作に関する再現性を向上させる。 【解決手段】塗布動作評価装置において、塗布対象面に対する塗布動作に応じて、前記塗布対象面に配置された複数のセンサから得られる押圧力を検出する検出手段と、前記検出手段により得られるセンサそれぞれにかかる押圧力に基づき、前記塗布対象面における前記塗布動作の押圧位置を推定する推定手段と、前記検出手段により得られる押圧力及び前記推定手段により得られる押圧位置に基づき、前記塗布動作に応じた荷重分布を生成する荷重分布生成手段と、前記荷重分布生成手段により得られた荷重分布を、画面上に表示する表示手段とを有することにより上記課題を解決する。 【選択図】図2
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