Sensorvorrichtung für partikel

Eine Sensorvorrichtung (100) weist ein Tragersubstrat (10) auf, das eine Partikelmessstruktur (P), eine Heizelementstruktur (H) und eine Temperaturmessstruktur (T) umfasst. Die Temperaturmessstruktur (T) ist in einem vorgegebenen ersten Bereich des Tragersubstrats (10) mit der Heizelementstruktur (H) und/oder in einem vorgegeben zweiten Bereich des Tragersubstrats (10) mit der Partikelmessstruktur (P) elektrisch gekoppelt.