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プラズマ発光コントロールシステムを用いた反応性パルススパッタリング法によるSbドープSnO2(ATO)高速成膜
プラズマ発光コントロールシステムを用いた反応性パルススパッタリング法によるSbドープSnO2(ATO)高速成膜
2006
kakou keidai
oono singo
miyamura kai mi ka
satou yasufumi
iwabuti yosinori
yosikawa masato
P. Frach
sigesato yuuzou
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