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SrRuO3/IrO 2 トップ電極をもち、エンベッデドメモリ130nm世代ないしそれ以降のプロセスであるCuBEOLによるFeRAM(誘電体メモリ)
SrRuO3/IrO 2 トップ電極をもち、エンベッデドメモリ130nm世代ないしそれ以降のプロセスであるCuBEOLによるFeRAM(誘電体メモリ)
2005
Yoshinori Kumura
T. Ozaki
Hiroyuki Kanaya
O. Hidaka
Shimojo Y
Susumu Shuto
Yamada Y
Kazuhiro Tomioka
Koji Yamakawa
S Yamazaki
Daisaburo Takashima
Tadashi Miyakawa
Shinichiro Shiratake
S. Ohtsuki
Kunishima I
Akihiro Nitayama
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