VPE-Reaktor mit koaxial zueinander angeordneten Quellgasrohren

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Abscheiden mindestens einer Schicht auf mindestens einem Substrat, mit einem vertikal sich erstreckenden Reaktorgehause (1) mit einer Prozesskammer (2), in welcher sich ein Substrathalter (3) befindet, um das Substrat in Horizontallage zu halten und in welche Gaszuleitungen (4, 5) munden, aus deren auf das Substrat weisenden Austrittsoffnungen (6, 7) Prozessgase austreten, deren Bestandteile auf dem Substrat die Schicht bilden. Um die eingangs genannte Vorrichtung bzw. das eingangs genannte Verfahren prozesstechnisch zu verbessern, wird vorgeschlagen, dass die Austrittsoffnungen (6, 7) koaxial zueinander angeordnet sind.