Le silicium, un matériau de base pour les microsystèmes

Le silicium apparait etre le materiau de base pour les microcapteurs et microsystemes car, d'une part, ses proprietes physiques, electroniques mais aussi mecaniques sont facilement mises a profit dans ce domaine et, d'autre part, il peut etre aisement elabore sous forme de couches minces ou tres minces, qu'elles soient amorphes, polycristallines ou cristallines. Le silicium peut etre aussi l'element d'assemblages heterogenes comme, par exemple, dans les heterostructures Si/SiGe, avec des couches de semiconducteurs III-V ou II-VI ou encore de materiaux organiques. Divers axes de recherches sont envisages, concernant le materiau lui-meme, les interfaces dont la qualite conditionne la fiabilite des microcapteurs et, egalement, les incidences des reductions des dimensions des divers composants introduits dans les microsystemes