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ディープサブミクロンCMOS素子におけるライトドープドレインへの窒素イオン注入(NIL)の影響 | 文献情報 | J-GLOBAL 科学技術総合リンクセンター
ディープサブミクロンCMOS素子におけるライトドープドレインへの窒素イオン注入(NIL)の影響 | 文献情報 | J-GLOBAL 科学技術総合リンクセンター
2000
Hong S-K
Lee S.-G.
Lee K.-H.
Ahn J-G
Son J-H
Kang D-G
Hwang J-M
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