Film mince du type composé, méthode de formation d'un film mince du type composé, et dispositif électronique utilisant ce film mince

Un gaz de compose organometallique est transfere dans un plasma a faible temperature electronique et haute densite excite par des micro-ondes pour former un film mince de compose sur un substrat jouant le role d'objet de formation de film. Dans cet exemple, la temperature du systeme de transfert pour le gaz de compose organometallique est regulee grâce a la relation entre la pression de vapeur et la temperature du gaz de compose organometallique.