Old Web
English
Sign In
Acemap
>
Paper
>
マグネトロンスパッタリングによる薄膜成長におけるパラダイムシフト:成長膜のガスイオンから金属イオンへの照射【JST・京大機械翻訳】
マグネトロンスパッタリングによる薄膜成長におけるパラダイムシフト:成長膜のガスイオンから金属イオンへの照射【JST・京大機械翻訳】
2019
Greczynski Grzegorz
Petrov Ivan
J. E. Greene
Hultman Lars
Keywords:
Materials science
Correction
Source
Cite
Save
Machine Reading By IdeaReader
0
References
2
Citations
NaN
KQI
[]