CÁMARA PARA DEPÓSITO DE CAPAS ATÓMICAS

Camara (1) para deposito de capas atomicas, que comprende un cuerpo (2) de la camara y una tapa (3) de la camara, y que comprende adicionalmente al menos una placa de separacion (4) que delimita diferentes volumenes interiores (5) en el cuerpo (2) de la camara (1), presentando cada uno de estos volumenes interiores (5) una entrada (6) y una salida (7). La invencion tambien se refiere a un equipo para deposito de capas atomicas, que comprende dicha camara (1) para deposito de capas atomicas.