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100MHzにおけるAr/O 2 /C 4 F 8 混合ガスプラズマでの非対称容量結合プラズマ放電における負イオンの挙動
100MHzにおけるAr/O 2 /C 4 F 8 混合ガスプラズマでの非対称容量結合プラズマ放電における負イオンの挙動
2017
Takayoshi Tsutsumi
Nishant Sirse
M. Sekine
A R Ellingbo
M. Hori
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