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フッ化炭素プラズマエッチングでSiO 2 上に形成されたSiOFの解明
フッ化炭素プラズマエッチングでSiO 2 上に形成されたSiOFの解明
2015
Y. Ohya
M. Tomura
K Ishikawa
M. Sekine
M. Hori
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