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磁場増強型高電力パルスマグネトロンスパッタ法による(AlTi)xN1-x薄膜の微細構造と機械的性質
磁場増強型高電力パルスマグネトロンスパッタ法による(AlTi)xN1-x薄膜の微細構造と機械的性質
2017
Tian Xiubo
Ma Yinghe
Hu Jian
Bi Mingkang
Gong Chunzhi
K Chu Paul
Keywords:
Inorganic chemistry
Chemistry
Environmental chemistry
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