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패턴화된 사파이어 기판 위에 증착된 AlN 버퍼층 박막의 에피층 구조의 광학적 특성에 대한 영향
패턴화된 사파이어 기판 위에 증착된 AlN 버퍼층 박막의 에피층 구조의 광학적 특성에 대한 영향
2020
Kyoung-Wook Park
Young Hoon Yun
Keywords:
Engineering physics
Materials science
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