Caractérisation et analyse des performances des capacités ferroélectriques à BST dans le domaine des ondes millimétriques

Nous presentons la realisation et l'analyse des performances hyperfrequences de condensateurs interdigites a capacite variable (IDC) integrant des couches minces ferroelectriques de titanate de baryum et strontium (Ba1-xSrxTiO3). Les dispositifs integrant des films avec deux compositions differentes ont ete caracterises sur une plage frequentielle allant de 200 MHz a 67 GHz, en leur appliquant differentes tensions de polarisation. Les resultats montrent des variations de capacites dans le domaine des frequences millimetriques allant jusqu'a 40% sous des champs electriques relativement faibles, de 150 kV/cm. Ces caracteristiques prometteuses permettent d'envisager l'integration de ces composants IDC au sein des antennes millimetriques reconfigurables. I.