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高出力パルスマグネトロンスパッタリングの放電特性に及ぼすアノードの影響を研究した。【JST・京大機械翻訳】
高出力パルスマグネトロンスパッタリングの放電特性に及ぼすアノードの影響を研究した。【JST・京大機械翻訳】
2016
Li Chunwei
Tian Xiubo
Gong Chunzhi
Xu Jianping
Sun Mengfan
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