Mit geführten akustischen Wellen arbeitendes Bauelement und Verfahren zur Herstellung des Bauelements

Es wird ein mit gefuhrten akustischen Wellen arbeitendes Bauelement mit einem wellenleitenden Schichtsystem (10) angegeben. Das Schichtsystem weist eine piezoelektrische Schicht (1), eine erste dielektrische Schicht (21), eine an die erste dielektrische Schicht (21) angrenzende zweite dielektrische Schicht (22) sowie eine zwischen der piezoelektrischen Schicht und der ersten dielektrischen Schicht eingeschlossene elektrisch leitfahige Schicht (36) auf. Die erste und die zweite dielektrische Schicht weisen das Material mit der gleichen chemischen Zusammensetzung auf. Die aktustische Gute der ersten dielektrischen Schicht ist hoher als diejenige der zweiten dielektrischen Schicht. Die akustische Gute der ersten dielektrischen Schicht ist vorzugsweise um mindestens 20% hoher als diejenige der zweiten dielektrischen Schicht.