Série de buses, et appareil de traitement de substrat pourvu d'une série de buses

L'invention a pour objectif de proposer des buses et un appareil de traitement de substrat, dans lesquels une large superficie d'un substrat peut etre traitee efficacement, par balayage. Pour ce faire, l'invention propose une serie de buses (1) comprenant une section de multiples buses (10) pourvue de buses d'acceleration (100) comprenant : des premiers trous d'introduction de gaz (101) ; des premiers trous d'introduction de liquide (103) disposes en aval des premiers trous d'introduction de gaz (101) ; des chemins d'ecoulement d'acceleration (105) permettant d'accelerer le gaz fourni a partir des premiers trous d'introduction de gaz (101) et le liquide fourni a partir des premiers trous d'introduction de liquide (103) ; et des buses d'ejection (107) a travers lesquelles les fluides multiphases acceleres sont ejectes. Dans la section des multiples buses (10), les buses d'acceleration (100) sont agencees en parallele.