TiN buffer layers preventing Fe diffusion from stainless steel

La diffusion du fer provenant d'acier inoxydable est etudiee a travers deux types de couches minces de nitrure de titane. Les coefficients de diffusion sont determines par spectroscopie d ions retrodiffuses (RBS). La diffusion du fer est six fois plus faible dans le cas de depots de TiN assistes par bombardement ionique.