レーザ割断用支持テーブル、レーザ割断装置、レーザ割断方法、及び、液晶パネルの製造方法

(57)【要約】 【課題】 加工対象をレーザ割断によって分断する場合 に、レーザ光の散乱による不具合を防止若しくは低減で きる新規の構成を提供する。 【解決手段】 レーザ割断装置２０は、金属等の剛体か らなる支持テーブル２１と、この支持テーブル２１の上 方において水平方向（図示左右方向）に走査可能に構成 されたレーザ照射系２２とを備えている。支持テーブル ２３の表面上にはガラス層２３が形成され、このガラス 層２３の上に加工対象であるガラス製の基板１が吸着保 持されている。ガラス層２３は基板１の外縁よりも外側 に広がるように形成されているので、レーザ光２２Ｌが 基板１から外れても、レーザ光２２Ｌが散乱して周囲に 危険を及ぼすことを防止できる。