Appareil de traitement de substrat

Une liste de controle utilisee dans la mise en marche d'un appareil de traitement de substrat est cree plus rapidement et de maniere plus precise que selon les procedes de l'art anterieur. L'appareil de traitement de substrat comprend une unite d'introduction de mise en fonction destinee a introduire des informations de mise en fonction sur des articles de mise en fonction de l'appareil de traitement et une unite d'affichage destinee a afficher une image de liste de controle concernant les articles controles predefinis de l'appareil de traitement. Les articles de controle incluent les articles de mise en fonction. Les informations de mise en fonction introduites par le biais de l'unite d'introduction de mise en fonction est automatiquement affichee dans les fenetres d'article de controle correspondant respectif de l'image de la liste de controle.