磁控溅射不同元素掺杂WS 2 薄膜的组织和纳米压痕力学性能

采用磁控溅射法在不同沉积压力（0.8，1.2 Pa）下分别制备WS2薄膜、Ti/WS2复合薄膜和La-Ti/WS2复合薄膜，研究了薄膜的组织结构和纳米压痕力学性能。结果表明：WS2薄膜呈疏松多孔结构，晶粒粗大，孔洞较多，组织致密性差；与WS2薄膜相比，Ti/WS2复合薄膜的晶粒尺寸减小，组织变得致密，掺杂镧后薄膜的晶粒尺寸进一步减小，组织更致密；镧的掺杂还降低了薄膜中硫与钨的原子比，增加了硬质钨相的相对含量，提高了薄膜的硬度和变形抗力。