Nanostructures luminescentes à base de silice et de silicium : de l'élaboration par pulvérisation magnétron réactive à la modélisation de la photoluminescence

Ce travail presente le developpement d'une methode originale d'elaboration basee sur la pulverisation magnetron reactive d'une cible de silice pour l'obtention de materiaux luminescents a base de silicium. Les parametres d'elaboration (gaz et temperature) permettent le controle de la composition du materiau depose (SiO2, composite Si-SiO2 ou Si). Deux types de structures ont ete elabores et etudies : Les composites Si-SiO2 ou des nanocristaux de silicium sont noyes dans une matrice de silice : Un processus experimental est developpe afin d'accroitre l'intensite de photoluminescence de ces materiaux. Les multicouches ou alternent couches de silicium de quelques nanometres et couches de silice d'une dizaine de nanometres : Une etude experimentale et theorique de la photoluminescence, en correlation avec la microstructure du silicium, nous a permis de determiner l'origine de l'emission, a savoir les structures nanometriques et la presence d'une region interfaciale entre silicium et silice.