Procédé et appareil de détermination d'une erreur de superposition

L'invention concerne un procede de determination d'une erreur de superposition comportant les etapes consistant a : mesurer une cible de superposition presentant une asymetrie induite par le processus ; construire un modele de la cible ; modifier le modele, par ex. en deplacant une des structures pour compenser l'asymetrie ; calculer une erreur de superposition induite par l'asymetrie en utilisant le modele modifie ; determiner une erreur de superposition sur une cible de production en soustrayant l'erreur de superposition induite par l'asymetrie d'une erreur de superposition mesuree. Dans un exemple, le modele est modifie en faisant varier l'asymetrie p (n'), p (n'') et le calcul d'une erreur de superposition induite par l'asymetrie est repete pour une pluralite de recettes de mesures au diffusometre, et l'etape de determination d'une erreur de superposition dans une cible de production utilise les erreurs de superposition induites par l'asymetrie calculees pour selectionner une recette optimale de mesures au diffusometre utilisee pour mesurer la cible de production.