多結晶シリコン、ｆｚ単結晶シリコン、およびその製造方法

【課題】単結晶シリコンを安定的に製造するために好適な多結晶シリコンの提供。 【解決手段】シーメンス法による合成が終了した後に熱処理を施され、該熱処理によりミラー指数面＜１１１＞と＜２２０＞を主面とする結晶粒が成長した多結晶シリコンであって、前記熱処理後のミラー指数面＜１１１＞および＜２２０＞からのＸ線回折強度が、前記熱処理前のＸ線回折強度と比較して、何れも１．５倍以下である多結晶シリコンを原料としてＦＺ単結晶シリコンを製造することとすると、ＦＺ単結晶化の工程における結晶線消失が顕著に抑制される。 【選択図】なし