乾式洗浄装置、洗浄対象物、および再生装置の製造方法

【課題】薄片状の洗浄媒体を用いて乾式洗浄をするときに、洗浄媒体が装置内を閉塞したり装置内で滞留することを防止して、より多くの洗浄媒体を洗浄対象物に衝突させることにより洗浄効率を向上することができる乾式洗浄装置を提供すること。 【解決手段】洗浄対象物３および薄片状の可撓性の洗浄媒体５を収容する洗浄槽１３の内壁１ａ〜１ｇと、洗浄対象物３に付着した付着物を除去するよう、高速気流を噴射して洗浄媒体５を洗浄対象物３に衝突させる洗浄媒体加速ノズル６と、を備え、内壁１ａ、１ｂが可撓性を有する素材で構成されている。 【選択図】図１