Interconnexions à base de cobalt et procédés pour leur fabrication

2013 
L'invention concerne une interconnexion metallique comportant du cobalt et un procede de formation d'une interconnexion metallique comportant du cobalt. Dans un mode de realisation, un interconnexion metallique comportant du cobalt comprend une couche dielectrique disposee sur un substrat, une ouverture etant formee dans la couche dielectrique de facon a exposer le substrat. Le mode de realisation comprend en outre une couche d'amorcage disposee par-dessus le substrat et un materiau de remplissage comportant du cobalt forme a l'interieur de l'ouverture et sur une surface de la couche d'amorcage.
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