センサ薄膜、その製造方法、および変形センサ

【課題】 塗料化したセンサ形成材料から、部材、部位の変形や荷重を検出可能なセンサ薄膜を製造する方法を提供する。また、得られたセンサ薄膜を用いて変形センサを提供する。 【解決手段】 熱硬化性樹脂の硬化前樹脂を主成分とする液状樹脂材料に球状の導電性フィラーが分散されてなるセンサ塗料を、基材２０表面に塗布し硬化させて、センサ薄膜２１を製造する。製造されたセンサ薄膜２１は、該熱硬化性樹脂と、該熱硬化性樹脂中に略単粒子状態でかつ高充填率で配合されている該導電性フィラーと、を有し、弾性変形可能であって、弾性変形量が増加するに従って電気抵抗が増加する。変形センサ２は、基材２０と、基材２０表面に配置されたセンサ薄膜２１と、センサ薄膜２１に接続され、電気抵抗を出力可能な電極２２ａ、２２ｂと、を備えてなる。 【選択図】 図３