Simulation particulaire d'une décharge à cathode magnétron excitée en radio-fréquences

Une simulation particulaire d'une decharge magnetron excitee en radio frequence (RF) a ete utilisee pour acceder aux parametres microscopiques du plasma. Dans cette etude sont suivis particulierement les processus d'ionisation avec des descriptions spatiale a deux dimensions et temporelle, a differents intervalles de la periode RF. La repartition spatiale de ces processus est tres semblable avec celle trouvee dans un magnetron DC [3] pour la majorite de la periode RF, sauf quand la polarisation de la cible est positive et l'ionisation devient majoritaire dans la gaine. Cette difference implique une diminution de l'energie des ions bombardant la cible dans le magnetron RF par rapport au DC.