Verre de quartz synthetique pour element optique, dispositif de projection et procede de projection

L'invention concerne un verre de quartz synthetique pour element optique utilise dans un dispositif optique comprenant un laser a excimere ArF en tant que source lumineuse a une densite d'energie de 2 mJ/cm2/impulsion ou inferieure, ou dans un dispositif optique comprenant un laser excimere a KrF en tant que source lumineuse a une densite d'energie de 30 mJ/cm2/impulsion ou inferieure. Le verre de quartz synthetique pour element optique est caracterise en ce que la concentration en hydrogene moleculaire se situe dans un domaine egal ou superieur a 1 x 1016 molecules/cm3 et inferieur a 5 x 1016 molecules/cm3.