高 Q 值表面等离子体传感器研究

设计了高 Q 值表面等离子体传感器，传感器芯片的基底为200 μ m厚的石英材料，上层为复合结构金属层。为保证高效传输，它的等离子体波导由共面波导结构（coplanar waveguide，CPW）过渡引出，经由表面等离子体传输线传输至谐振环，从而共振模式可以由等离子体波导和谐振环的相互耦合共振产生。通过仿真，对不同模式下的电场分布图对应谐振环的闭合状态进行研究，在传输系数 S 21图上得到6个明显的谐振谷，其中有3个谷的 Q 值十分高，这6个谐振谷的 Q 值范围为44.6~268.3。