Analyse spectroscopique de l'érosion de céramiques par magnétron RF

Cet article presente le travail effectue pour controler la pulverisation de ceramiques a l'aide d'une technique de spectroscopie d'emission optique. La detection de l'erosion d'echantillons de BN-SiO 2 a ete analysee dans une decharge magnetron RF fonctionnant dans l'argon. Des raies typiques d'erosion ont ete detectees dans les domaines de l'U.V et du V.U.V. La variation de l'intensite de ces raies, dont des raies de radicaux moleculaires, a ete etudiee en fonction du temps pour une decharge pulsee et en fonction de la puissance RF injectee dans le plasma.