Schallsensor nach dem Tauchspulprinzip und Verfahren zur Herstellung

Bekannte Mikrophone sind durch die Auspragung von magnetoresistivem Sensor und Tauchmagnet in ihren minimalen Abmessungen begrenzt. Bei dem erfindungsgemasen Schallsensor, auch Nanophon anstatt Mikrophon, ist deshalb das Sensormaterial (SM) ein elektrisch anisotrop leitendes oder halbleitendes Material mit einer hohen elektrischen Leitfahigkeit in einer Vorzugsrichtung (VR), wobei das elektrische Feld (EF) und das magnetische Feld (MF) an das Sensormaterial (SM) langs der Vorzugsrichtung (VR) angelegt sind. Weiterhin sind die Tauchmagneten (TA) von einer schwingfahigen, freitragenden Membran (FM) mit integrierten konischen Nanomagneten (KNM) gebildet, wobei die kleineren Durchmesser der konischen Nanomagneten (KNM) vor dem magnetoresistiven Sensor (MRS) angeordnet sind. Es werden elektrisch anisotrop leitende Materialien mit einer elektrischen Vorzugsrichtung (VR) als magnetoresistiver Sensor (MRS) und konische Nanomagnete (KNM) eingesetzt. Beide Komponenten konnen bevorzugt durch Atzen von durch Ionenbestrahlung erzeugten latenten Ionenspuren (IS) und anschliesendem Auffullen der Ionenspurkanale (KSK) mit entsprechenden Materialien (HLM, FT) hergestellt werden.