Dispositif mems pourvu de dents de peigne retrecies

La presente invention concerne des procedes permettant de fabriquer des dispositifs MEMS pourvus de dents de peigne retrecies. Un mode de realisation decrit dans cette invention concerne un dispositif d'entrainement en peigne comprenant plusieurs dents de peignes interdigitees, certaines d'entre elles presentant une epaisseur reduite le long, au moins, d'une portion de leur longueur par rapport a d'autres dents de peigne.