Laserinduzierte Kristallisation dünner Co-Fe-B-Schichten

Durch Anwendung von Rontgenbeugung (XRD) unter Verwendung von Synchrotronstrahlung konnte der erste direkte Nachweis lokaler Kristallisation dunner Co-Fe-B-Schichten (10 nm), hervorgerufen durch Laserbestrahlung (λ = 1064 nm), erbracht werden. Untersucht wurde die Abhangigkeit der Kristallisation von verschiedenen Bestrahlungsparametern, wie Scangeschwindigkeit und Intensitat (cw). Zudem wurde ein Vergleich mit dem herkommlichen Verfahren des Heizens im Vakuumofen durchgefuhrt, wobei hier Heiztemperatur und –dauer variiert wurden. Eine systematische Untersuchung dunner Co-Fe-B-Schichten mit unterschiedlicher Stochiometrie und zusatzlichen verschiedenen benachbarten Schichten aus Ru, Ta und MgO mit Hilfe von XRD und SQUIDMagnetometrie ermoglichte die detaillierte Aufklarung der Kristallisationszusammenhange.