Methods and apparatus for inspecting an electrically charged sample surface

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Untersuchen einer Probenoberflache (120) mit einer Sonde (1070) eines Rastersondenmikroskops (1060), wobei die Probenoberflache (120) eine elektrische Potentialverteilung (850) aufweist, und wobei das Verfahren die Schritte aufweist: (a) Bestimmen der elektrischen Potentialverteilung (850) zumindest eines ersten Teilbereichs (820) der Probenoberflache (120); und (b) Modifizieren der elektrischen Potentialverteilung (850) in dem zumindest einen ersten Teilbereich (830) der Probenoberflache (120) und/oder Modifizieren eines elektrischen Potentials der Sonde (1070) des Rastersondenmikroskops (1060) vor einem Scannen zumindest eines zweiten Teilbereichs (830) der Probenoberflache (120).