^4He和^（12）C离子Rutherford背散射的Geant4模拟

利用Geant4程序模拟270,500keV4 He和12 C离子垂直入射Au,Ag,Cu薄膜上的Rutherford背散射谱（RBS）,并讨论材料、厚度和入射离子能量对背散射谱的影响.结果表明,能量较大的12C离子具有较好的质量分辨率.