反射型マスクの検査装置、露光装置、反射型マスク、反射型マスクを検査する方法及び露光方法

【課題】反射型マスクのパターン領域を損なうことなく、反射型マスクをインライン検査できる反射型マスクの検査装置を提供する。 【解決手段】反射型マスクの検査装置は、露光パターンを有するパターン領域３１と、パターン領域３１とは異なる位置に配置された検査領域３２とを有する反射型マスク３０を覆うように配置され、パターン領域３１に対応する位置に形成されたパターン開口部２２と、検査領域３２に対応する位置に形成された検査開口部２３とを有する遮蔽板２１を備え、光が、遮蔽板２１に対して反射型マスク３０とは反対側から、前記検査開口部２３を通って反射型マスク３０に向かって進むことは許容するが、光が、遮蔽板２１に対して反射型マスク３０側から、前記検査開口部２３を通って反射型マスク３０とは反対側に向かって進むことを許容しない。 【選択図】図６