Gas field ion source and method of using the same ion beam device and method of manufacturing same as well as Ermitterspitze

Um eine Gasfeld-Ionenquelle mit einer hohen Winkelstromdichte bereitzustellen, wird die Gasfeld-Ionenquelle so aufgebaut, dass zumindest ein Grundkorper der Emitterspitze, welche die Gasfeld-Ionnenquelle bildet, ein Einkristall-Metall ist, so dass der Scheitel der Emitterspitze zu einer Pyramidenform oder Kegelform ausgebildet ist, welche in ihrer Spitze ein einzelnes Atom hat, und so dass die Extraktions-Spannung beim Ionisieren von Heliumgas durch das einzelne Atom auf 10 kV oder mehr eingestellt ist.