Microscope with a beam of charged particles and measuring method thereof

Eine Vorrichtung mit einem Strahl geladener Teilchen ist mit einer Funktion zum Erhalten einer Naherungsfunktion fur eine Probendrift aus der Grose einer Sichtfeldverschiebung in mehreren Abbildungen (S1); zum Aufnehmen einer zu speichernden Abbildung mit einer Korrektur der Drift auf der Basis der Naherungsfunktion (S2) und zum Erzeugen einer Zielabbildung aus der gespeicherten Abbildung, in der die Auswirkungen der Probendrift verringert sind (S3), versehen. Dadurch konnen zufallige Fehler in der Messung der Sichtfeldverschiebung durch Annahern der Probendrift an die Funktion geglattet werden und auch die Anderung der Probendrift mit der Zeit vorhergesagt werden. Damit kann eine Vorrichtung mit einem Strahl geladener Teilchen und ein Mesverfahren dafur geschaffen werden, bei der bzw. bei dem die Auswirkungen der Probendrift auch bei einer starken Vergroserung erheblich eingegrenzt sind.