Produção de filme fino de liga Cu-Ni por codeposição usando Magnetron Sputtering Confocal

Um sistema confocal de deposicao fisica (PVD) por magnetron sputtering (Confocal MS) foi desenvolvido no laboratorio de superficies e nanoestruturas (LabSurf) do CBPF. Como parte final do desenvolvimento, o sistema foi testado a fim de validar suas funcionalidades. O objetivo deste trabalho foi validar a funcionalidade de producao de filmes finos por codeposicao. Como prova de conceito, foi utilizada a producao de filmes finos de liga de cobre e niquel com composicao relativa controlada. O interesse nessa liga e a possibilidade de controlar sua magnetizacao atraves da porcentagem relativa de niquel, visando aplicacao em estudo sobre hipertermia magnetica. Foram estudadas as variacoes nos parâmetros do processo de deposicao de filmes finos de cobre, niquel e da liga cobre-niquel. As taxas de deposicao foram caracterizadas atraves da medida de espessura pela tecnica de refletividade de raios-X (RRX), e a composicao elementar da liga cobre-niquel foi caracterizada pela tecnica de espectroscopia de dispersao de energia de raios-X (EDS). A caracterizacao da amostra final mostrou a presenca de cobre e niquel com composicao relativa proxima a esperada, validando a funcionalidade do sistema Confocal MS para produzir filmes finos, com composicao relativa controlada, por codeposicao.